一、基本信息
文档名称：T_CASME 1953—2025_半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
文档格式：pdf格式
文档大小：0.5MB
总页数：48页
二、简介
《T_CASME 1953—2025_半导体设备用全氟醚橡胶密封制品》是一项针对半导体制造设备中使用的全氟醚橡胶密封制品的行业标准。该标准规定了产品技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存等内容，旨在提升密封制品的质量与可靠性。全氟醚橡胶因其优异的耐高温、耐腐蚀和化学稳定性，广泛应用于半导体生产中的高纯度环境。本标准的制定有助于规范市场，保障产品质量，促进半导体设备的稳定运行与长期发展。
三、预览
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