[冶金] GBT 16596-2019 确定晶片坐标系规范

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确定晶片坐标系规范
Specificationforestablishingawafercoordinatesystem

摘要:本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。

标准编号：GB/T16596-2019
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2019年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2020年1月1日
关键词：

GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范.pdf

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坐标系, 晶片

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