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[冶金] GBT 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法

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2024-9-22 22:06 | 查看全部阅读模式

硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法
Testmethodforcarrierrecombinationlifetimeinsiliconwafersandsiliconingots-Non-contactmeasurementofphotoconductivitydecaybymicrowavereflectancemethod

摘要:本标准规定了单晶和铸造多晶的硅片及硅锭的载流子复合寿命的非接触微波反射光电导衰减测试方法。

标准编号：GB/T26068-2018
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2019年1月1日
关键词：

GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法.pdf

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载流子, 硅片, 电导, 衰减, 微波

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