[冶金] GBT 30652-2014 硅外延用三氯氢硅

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admin 发表于 2024-9-22 21:58 | 查看全部阅读模式

硅外延用三氯氢硅
Trichlorosilaneforsiliconepitaxial

摘要:本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单(或合同)内容。本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅(以下简称产品)。

标准编号：GB/T30652-2014
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2014年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2015年1月1日
关键词：

GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅.pdf

2024-9-22 21:58 上传

GBT 30652-2014 硅外延用三氯氢硅.pdf

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