[冶金] GBT 30652-2023 硅外延用三氯氢硅

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admin 发表于 2024-9-22 21:58 | 查看全部阅读模式

硅外延用三氯氢硅
Trichlorosilaneforsiliconepitaxial

摘要:本文件规定了硅外延用三氯氢硅（SiHCL3）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。本文件适用于以三氧氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。

标准编号：GB/T30652-2023
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2023年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2024年1月1日
关键词：

GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅.pdf

2024-9-22 21:58 上传

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