文档名：石英加速度计除气工艺探索
减小石英加速度计表体内气体压力是降低其热噪声的有效手段,而合理的真空除气工艺是长期维持石英加速度计表体内部较低的气压的保障.石英加速度计体积小,结构件中含有不耐受高温的有机物,真空保持极为困难.本文分析石英加速度计结构特点,选择了合适的工艺参数,通过长期工艺实验摸索积累了大量的实验数据.这一方法对其他类型的除气工艺具有一定的借鉴意义.
作者：仇恺雷立铭于洪宇
作者单位：天津航海仪器研究所,天津300131
母体文献：中机生产工程学会精密装配技术专业委员会首届学术会议论文集
会议名称：中机生产工程学会精密装配技术专业委员会首届学术会议
会议时间：2017年11月23日
会议地点：深圳
主办单位：中国机械工程学会
语种：chi
分类号：
关键词：石英加速度计 气体压力 真空除气 工艺参数
在线出版日期：2020年6月23日
基金项目：
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