GBT 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片

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admin 发表于 2024-9-26 14:09 | 查看全部阅读模式

蓝宝石单晶抛光衬底片
Polishedmonocrystallinesapphiresubstrates

摘要:本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。

标准编号：GB/T13843-1992
标准类型：CP
发布单位：CN-GB
发布日期：1992年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1993年1月1日
关键词：衬底(绝缘),晶体抛光,宝石

GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片.pdf

2024-9-26 14:08 上传

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衬底, 蓝宝石, 抛光

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