本文介绍了超薄硅基PIN高能粒子探测器的制造工艺及性能分析，针对其在高能粒子探测中的应用进行了深入研究。通过优化材料选择和工艺流程，提高了探测器的灵敏度和能量分辨率。文章还详细分析了探测器的电学特性与响应性能，为相关领域的进一步发展提供了理论依据和技术支持。
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