会议论文《磁控溅射法制备类金刚石薄膜的摩擦学特性》探讨了通过磁控溅射技术制备类金刚石薄膜的摩擦学性能。研究分析了薄膜的摩擦系数、磨损率等关键参数，评估其在不同载荷和滑动速度下的表现。结果表明，该方法制备的薄膜具有优异的耐磨性和低摩擦系数，适用于精密机械和微电子领域。本文为类金刚石薄膜的应用提供了理论依据和技术支持。
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