标准硅球直径精密测量中光束对准误差分析 - 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会.pdf

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2026-1-12 14:54 | 查看全部 阅读模式

本文针对标准硅球直径精密测量中的光束对准误差进行分析,探讨了光束对准不准确对测量结果的影响。文章通过理论分析与实验验证,提出了减少对准误差的方法,为提高测量精度提供了参考依据。该研究在2008年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会上发表,对相关领域的技术发展具有重要意义。

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标准硅球直径精密测量中光束对准误差分析 - 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会
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