会议论文《分子玻璃光致抗蚀剂研究进展》介绍了分子玻璃光致抗蚀剂在非银盐影像技术中的应用与发展。文章综述了该材料的化学结构、光化学性能及其在微电子制造中的重要性，分析了其在高分辨率光刻中的优势与挑战，为后续研究提供了理论依据和技术方向。
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