会议论文《分子泵超高真空设备与电光源设备》发表于2008年全国电光源设备科技研讨会，主要探讨了分子泵在超高真空环境中的应用及其对电光源设备性能的影响。文章分析了分子泵的工作原理、技术优势以及在电光源制造过程中的关键作用，为提升电光源设备的真空度和稳定性提供了理论支持和技术参考。
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