RF MEMS开关的国内研究现状及进展 - 四川省电子学会半导体与集成技术专委会2008年度学术年会.pdf

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2026-1-12 08:00 | 查看全部 阅读模式

会议论文《RF MEMS开关的国内研究现状及进展》介绍了我国在射频微机电系统(RF MEMS)开关领域的研究动态。文章总结了近年来国内在材料、工艺和器件设计方面的关键技术突破,分析了RF MEMS开关在通信、雷达等领域的应用前景,并指出了当前研究中存在的主要问题与挑战,为后续研究提供了参考方向。

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RF MEMS开关的国内研究现状及进展 - 四川省电子学会半导体与集成技术专委会2008年度学术年会
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