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Pulsed VHF-PECVD技术对微晶硅材料的结构及电学特性影响 - 第十届中国太阳能光伏会议.pdf

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会议论文《Pulsed VHF-PECVD技术对微晶硅材料的结构及电学特性影响》探讨了脉冲VHF-PECVD技术在制备微晶硅材料中的应用。研究分析了该技术对材料结构和电学性能的影响，表明其能够有效改善微晶硅的结晶质量和电导率，为高效太阳能电池的发展提供了理论支持和技术参考。

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Pulsed VHF-PECVD技术对微晶硅材料的结构及电学特性影响 - 第十届中国太阳能光伏会议.pdf

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