PECVD石墨垫使用寿命的改善 - 第十届中国太阳能光伏会议.pdf

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2026-1-12 07:55 | 查看全部 阅读模式

会议论文《PECVD石墨垫使用寿命的改善》发表于第十届中国太阳能光伏会议,主要探讨了如何通过优化工艺参数来延长石墨垫的使用寿命。研究指出,通过调整沉积条件和材料特性,可有效减少石墨垫在使用过程中的损耗,提高生产效率和设备稳定性。该成果对提升光伏产业的制造水平具有重要意义。

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PECVD石墨垫使用寿命的改善 - 第十届中国太阳能光伏会议
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