DBD等离子体合成类金刚石薄膜及其性能表征 - 第十二届全国包装工程学术会议.pdf

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2026-1-12 07:27 | 查看全部 阅读模式

会议论文《DBD等离子体合成类金刚石薄膜及其性能表征》发表于第十二届全国包装工程学术会议。该文研究了利用介质阻挡放电(DBD)等离子体技术制备类金刚石薄膜的方法,并对其结构和性能进行了系统表征。结果表明,该方法可有效生成高质量类金刚石薄膜,具有良好的硬度和耐磨性,为新型功能材料的开发提供了理论依据和技术支持。

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DBD等离子体合成类金刚石薄膜及其性能表征 - 第十二届全国包装工程学术会议
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