会议论文《CCD显微测量系统中调焦状态对尺寸测量精度的影响》探讨了在CCD显微测量系统中,调焦状态对测量精度的关键影响。文章通过实验分析了不同调焦状态下图像清晰度与尺寸测量误差之间的关系,提出了优化调焦策略以提高测量精度的建议,为相关领域的自动化测量提供了理论支持和实践参考。
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