会议论文《非晶碳氢膜刻蚀率与离子能量分布函数关系的研究》发表于2009年全国微波毫米波会议。该文研究了非晶碳氢膜在等离子体刻蚀过程中的刻蚀率与离子能量分布函数之间的关系，分析了不同能量的离子对材料去除速率的影响，为优化刻蚀工艺提供了理论依据。
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