会议论文《阳极键合后基片呈现黑斑原因及影响因素》探讨了阳极键合过程中基片出现黑斑的现象及其成因。文章分析了键合温度、时间、电压以及基片材料等因素对黑斑形成的影响，提出了可能的改善措施。该研究对于提高阳极键合质量、优化工艺参数具有重要参考价值。
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