会议论文《直流磁控反应溅镀ZrCN薄膜及其力学性能研究》介绍了通过直流磁控反应溅射技术制备ZrCN薄膜的方法，并对其力学性能进行了系统分析。研究结果表明，该方法能有效制备出高质量的ZrCN薄膜，具有良好的硬度和耐磨性，为硬质涂层的应用提供了理论依据和技术支持。
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