基于双岛梁膜结构的弹性元件设计 - 四川省电子学会传感技术第11届学术年会.pdf

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2026-1-11 15:30 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于双岛梁膜结构的弹性元件设计》发表于四川省电子学会传感技术第11届学术年会。该文提出一种新型弹性元件设计方案,通过双岛梁膜结构提升传感器的灵敏度与稳定性。研究分析了结构参数对性能的影响,为微型化、高精度传感器开发提供了理论依据和技术支持。

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基于双岛梁膜结构的弹性元件设计 - 四川省电子学会传感技术第11届学术年会
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