基于DMD空间光调制器的超微缩直写技术研究 - 广东省光学学会2009年学术交流大会、粤港澳光学界产学研合作交流大会、广东省光学学会第六次会员代表大会.pdf

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2026-1-11 14:58 | 查看全部阅读模式

会议论文《基于DMD空间光调制器的超微缩直写技术研究》探讨了利用数字微镜器件（DMD）作为空间光调制器，在微缩直写技术中的应用。该研究旨在提高微细加工的精度与效率，为光学制造提供新方法。论文在广东省光学学会相关大会上发表，反映了光学领域在产学研合作方面的最新进展。

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