凝固过程工艺对多晶硅铸锭炉内热场的影响 - 中国工程热物理学会传热传质学2009年学术会议.pdf

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2026-1-11 13:34 | 查看全部 阅读模式

本文研究了凝固过程工艺对多晶硅铸锭炉内热场的影响。通过实验与数值模拟相结合的方法,分析了不同工艺参数下热场的分布特性。结果表明,凝固速率和温度梯度对热场有显著影响,进而影响多晶硅的生长质量。该研究为优化多晶硅铸锭工艺提供了理论依据和技术支持。

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凝固过程工艺对多晶硅铸锭炉内热场的影响 - 中国工程热物理学会传热传质学2009年学术会议
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