本文研究了凝固过程工艺对多晶硅铸锭炉内热场的影响。通过实验与数值模拟相结合的方法,分析了不同工艺参数下热场的分布特性。结果表明,凝固速率和温度梯度对热场有显著影响,进而影响多晶硅的生长质量。该研究为优化多晶硅铸锭工艺提供了理论依据和技术支持。
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