会议论文《溅射式压力变送器的研究》发表于四川省电子学会传感技术第11届学术年会。该文探讨了溅射式压力变送器的工作原理、结构设计及性能优化方法,旨在提高其灵敏度和稳定性。研究通过实验验证了不同工艺参数对传感器性能的影响,为压力检测技术的发展提供了理论依据和技术支持。
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