一种基于PSD的精密平面测量方法 - 第三届全国虚拟仪器学术交流大会.pdf

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2026-1-11 11:56 | 查看全部 阅读模式

会议论文《一种基于PSD的精密平面测量方法》发表于第三届全国虚拟仪器学术交流大会,提出了一种利用位置敏感探测器(PSD)进行高精度平面测量的新方法。该方法通过分析PSD输出信号,实现对平面位移的精确检测,具有响应速度快、分辨率高等优点。研究为虚拟仪器技术在精密测量领域的应用提供了新的思路和技术支持。

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一种基于PSD的精密平面测量方法 - 第三届全国虚拟仪器学术交流大会
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