会议论文《SOI基双线振动式MEMS陀螺仪的工艺研究》发表于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该文探讨了基于SOI（硅-on-insulator）技术的双线振动式MEMS陀螺仪的制造工艺，重点分析了其结构设计、加工流程及性能优化方法，为高精度微型陀螺仪的实现提供了理论支持与实验依据。
文档为pdf格式，0.2MB，总共2页。
举报
