高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析 - 第七届中国功能材料及其应用学术会议.pdf

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2026-1-11 07:23 | 查看全部 阅读模式

会议论文《高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析》发表于第七届中国功能材料及其应用学术会议,主要探讨了高密度氧化铟锡(ITO)靶材的制备工艺与相关理论。文章详细分析了成型过程中的关键参数,如压力、温度和烧结制度对靶材性能的影响,提出了优化方案以提高靶材的密度和均匀性,为高性能ITO靶材的开发提供了理论支持和技术参考。

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高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析 - 第七届中国功能材料及其应用学术会议
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