高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析 - 2010中国材料研讨会.pdf

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2026-1-11 07:21 | 查看全部 阅读模式

会议论文《高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析》发表于2010年中国材料研讨会,探讨了高密度氧化铟锡(ITO)靶材的制备工艺及其相关理论。文章分析了不同成形参数对靶材密度和性能的影响,提出了优化工艺路线,为提高ITO靶材的性能和应用提供了理论依据和技术支持。

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高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析 - 2010中国材料研讨会
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