采用MOCVD技术在GaN衬底上生长p型GaP薄膜的研究 - 第十一届全国MOCVD学术会议.pdf

6 0
2026-1-11 06:50 | 查看全部 阅读模式

会议论文《采用MOCVD技术在GaN衬底上生长p型GaP薄膜的研究》探讨了利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在GaN衬底上制备p型GaP薄膜的工艺与性能。研究分析了生长参数对薄膜质量的影响,旨在提升p型GaP的电学特性,为光电子器件的应用提供支持。

文档为pdf格式,0.89MB,总共5页。

采用MOCVD技术在GaN衬底上生长p型GaP薄膜的研究 - 第十一届全国MOCVD学术会议
文件大小:
911.36 KB
高速下载
2026 资料下载 联系邮件:1991591830#qq.com 浙ICP备2024084428号-1