会议论文《薄膜XRD应力分析的基本概念_基本方程式与衍射几何》介绍了薄膜材料在X射线衍射(XRD)分析中的应力计算方法。文章详细阐述了XRD应力分析的基本理论,包括布拉格方程、应变与晶格参数变化的关系,以及不同衍射几何对测量结果的影响。该文为研究人员提供了进行薄膜材料应力分析的理论基础和实用指导。
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