会议论文《相位测量轮廓术中一种有效补偿相移误差的新算法》提出了一种改进的相移误差补偿方法,旨在提高相位测量轮廓术的精度。该算法通过分析相移误差的特性,设计了有效的校正策略,显著降低了因系统非线性或环境干扰引起的误差。研究结果表明,该方法在实际应用中具有良好的稳定性和可靠性,为三维形貌测量提供了新的技术支持。
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