会议论文《电子束蒸发二氧化硅薄膜的制备及其驻极体特性研究》探讨了通过电子束蒸发技术制备二氧化硅薄膜的方法，并分析了其驻极体特性。该研究对于开发新型功能材料具有重要意义，为相关领域的应用提供了理论依据和技术支持。
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