会议论文《电应力致AlGaN_GaN HEMT的应力松弛研究》探讨了在电应力作用下AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)中应力松弛的现象及其对器件性能的影响。研究通过实验分析,揭示了电场与热效应共同作用下的应力演化机制,为提升器件稳定性和可靠性提供了理论依据。
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