会议论文《气敏元件电极设计、仿真及IC工艺实现》针对气敏传感器的电极结构进行了深入研究。通过仿真分析优化了电极布局，提升了传感器性能。文章还探讨了集成电路工艺在气敏元件制造中的应用，为微型化和集成化提供了可行方案。
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