会议论文《一种MEMS谐振梁的热弹阻尼分析》发表于第11届全国敏感元件与传感器学术会议。该文研究了MEMS谐振梁在工作过程中由于温度变化引起的热弹阻尼效应，分析了其对器件性能的影响。通过理论建模与实验验证，提出了改善热弹阻尼的优化方法，为提高MEMS器件的精度和稳定性提供了参考依据。
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