会议论文《微晶硅薄膜甚高频高速沉积初期的生长控制》探讨了在甚高频条件下微晶硅薄膜沉积过程中的生长控制机制。该研究针对高速沉积初期的薄膜结构与性能进行了深入分析，旨在优化沉积参数以提高薄膜质量。文章为光伏材料制备提供了理论支持和技术参考，对提升太阳能电池效率具有重要意义。
文档为pdf格式，0.38MB，总共4页。
举报
