会议论文《多层膜微结构参数的低角X射线衍射分析》介绍了利用低角X射线衍射技术对多层膜微结构参数进行分析的方法。该研究在帕纳科第11届用户X射线分析仪器技术交流会上发表，探讨了如何通过X射线衍射数据提取薄膜的厚度、界面粗糙度及晶格应变等关键信息，为材料科学和微电子领域提供了重要的分析手段。
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