会议论文《不同调制周期下的ZrAlN_ZrB2多层膜的组织结构和机械性能》探讨了通过调控调制周期对ZrAlN_ZrB2多层膜微观结构及力学性能的影响。研究采用磁控溅射法制备样品,并利用XRD、SEM和纳米压痕技术进行表征。结果表明,调制周期显著影响薄膜的晶粒尺寸、界面清晰度及硬度。该研究为高性能多层膜的设计与应用提供了理论依据。
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