不同调制周期下的ZrAlN_ZrB2多层膜的组织结构和机械性能 - 中国工程院化工、冶金与材料工学部第七届学术会议.pdf

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2026-1-11 12:27 | 查看全部 阅读模式

会议论文《不同调制周期下的ZrAlN_ZrB2多层膜的组织结构和机械性能》探讨了通过调控调制周期对ZrAlN_ZrB2多层膜微观结构及力学性能的影响。研究采用磁控溅射法制备样品,并利用XRD、SEM和纳米压痕技术进行表征。结果表明,调制周期显著影响薄膜的晶粒尺寸、界面清晰度及硬度。该研究为高性能多层膜的设计与应用提供了理论依据。

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不同调制周期下的ZrAlN_ZrB2多层膜的组织结构和机械性能 - 中国工程院化工、冶金与材料工学部第七届学术会议
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