会议论文《含硅类金刚石膜的研究进展》介绍了含硅类金刚石膜的制备方法、结构特性及其在电子和机械领域的应用。文章综述了近年来该材料在性能优化和产业化方面的研究成果，强调了硅元素对薄膜硬度、导电性和热稳定性的改善作用。研究为高性能功能材料的发展提供了理论支持和技术参考。
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