半导体级磷酸中痕量元素的动态反应池-电感耦合等离子体质谱分析 - 2010中国电子学会可靠性分会第十五届可靠性学术年会.pdf

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2026-1-11 02:00 | 查看全部 阅读模式

会议论文《半导体级磷酸中痕量元素的动态反应池-电感耦合等离子体质谱分析》介绍了利用动态反应池-电感耦合等离子体质谱技术(DRC-ICP-MS)对半导体级磷酸中痕量元素进行检测的方法。该研究旨在提高检测精度,确保半导体材料的高纯度要求。论文在2010年中国电子学会可靠性分会第十五届可靠性学术年会上发表,为微电子行业提供了重要的分析技术支持。

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半导体级磷酸中痕量元素的动态反应池-电感耦合等离子体质谱分析 - 2010中国电子学会可靠性分会第十五届可靠性学术年会
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