会议论文《半导体级磷酸中痕量元素的动态反应池-电感耦合等离子体质谱分析》介绍了利用动态反应池-电感耦合等离子体质谱技术(DRC-ICP-MS)对半导体级磷酸中痕量元素进行检测的方法。该研究旨在提高检测精度,确保半导体材料的高纯度要求。论文在2010年中国电子学会可靠性分会第十五届可靠性学术年会上发表,为微电子行业提供了重要的分析技术支持。
文档为pdf格式,0.21MB,总共5页。
举报