分子束外延生长硅基Ge1-xSnx合金薄膜 - 第十二届全国固体薄膜会议.pdf

会议论文《分子束外延生长硅基Ge1-xSnx合金薄膜》介绍了通过分子束外延技术在硅基底上制备Ge1-xSnx合金薄膜的研究。该研究探讨了生长条件对薄膜结构和成分的影响，为开发新型半导体材料提供了理论依据和技术支持。

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