会议论文《低温RF-PECVD沉积非晶硅锗及其太阳电池的研究》发表于第十一届中国光伏大会暨展览会，探讨了在低温条件下利用射频等离子体增强化学气相沉积技术制备非晶硅锗薄膜的工艺与性能。研究重点分析了材料结构、光学特性及在太阳能电池中的应用潜力，为高效、低成本光伏器件的开发提供了理论依据和技术支持。
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