会议论文《二次离子质谱在LED外延技术研究中的应用》发表于2010年全国质谱大会暨第三届世界华人质谱研讨会。该文介绍了二次离子质谱(SIMS)技术在LED外延层分析中的具体应用,包括元素分布和掺杂浓度的精确检测。通过SIMS技术,研究人员能够深入理解外延生长过程中的化学组成变化,为优化LED性能提供重要数据支持。
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