会议论文《不同氢气分压下氢化非晶硅薄膜的制备与表征》探讨了在不同氢气分压条件下制备氢化非晶硅薄膜的工艺及其性能。通过改变氢气分压，研究其对薄膜结构、光学性质和电学性能的影响。该研究为优化非晶硅薄膜的制备参数提供了理论依据，对提升光伏器件效率具有重要意义。
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