会议论文《三元GaAsP发光二极管铝电极芯片的制造技术研究》探讨了基于三元GaAsP材料的LED芯片制造工艺，重点分析了铝电极的制备技术。文章介绍了薄膜生长、光刻、蚀刻及金属沉积等关键步骤，旨在提高器件的发光效率和稳定性。该研究对推动LED技术发展具有重要意义，为高性能光电子器件的制造提供了理论支持和技术参考。
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