一种扭臂式静电微执行器的pull-in现象分析 - 2010年全国半导体器件技术研讨会.pdf

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2026-1-11 00:59 | 查看全部 阅读模式

会议论文《一种扭臂式静电微执行器的pull-in现象分析》发表于2010年全国半导体器件技术研讨会。该文研究了扭臂式静电微执行器在静电驱动下的pull-in现象,分析了其工作原理及稳定性问题,为微机电系统的设计与优化提供了理论依据。

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一种扭臂式静电微执行器的pull-in现象分析 - 2010年全国半导体器件技术研讨会
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