会议论文《β-FeSi2薄膜的电子束蒸发制备 - 第十二届全国固体薄膜会议》介绍了通过电子束蒸发法制备β-FeSi2薄膜的研究。文章详细描述了制备过程、工艺参数及薄膜的结构特性，探讨了该方法在制备高质量β-FeSi2薄膜中的可行性，为后续应用提供了实验依据。
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