会议论文《12吋半導體晶圓廠房之能耗與能源消耗指標研究》探討了現代半導體製造廠在能源使用方面的效率與節能潛力。該研究針對12吋晶圓廠房的能耗結構進行分析,提出關鍵能源消耗指標,以協助提升能源管理效能。文章結合實際數據與理論模型,為半導體產業的綠色製造提供參考依據,並參與首屆海峽兩岸四地制冷空調工程節能減排新技術研討會,促進相關技術交流與發展。
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