激光干涉仪误差修正系统的设计 - 2010年全国几何量精密测量技术学术交流会.pdf

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2026-1-10 23:18 | 查看全部 阅读模式

会议论文《激光干涉仪误差修正系统的设计》介绍了针对激光干涉仪在精密测量中出现的误差问题,提出了一种有效的误差修正系统。该系统通过分析误差来源,结合硬件与软件手段,实现了对系统误差的实时检测与补偿,提高了测量精度和稳定性。文章为提升激光干涉仪在高精度制造和科研领域的应用提供了理论支持和技术参考。

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激光干涉仪误差修正系统的设计 - 2010年全国几何量精密测量技术学术交流会
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