基于数字全息显微成像的微光学元件三维面形检测 - 2010中国光学学会全息与光信息处理专业委员会年会暨专委会成立25周年纪念会.pdf

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2026-1-10 22:27 | 查看全部阅读模式

会议论文《基于数字全息显微成像的微光学元件三维面形检测》介绍了利用数字全息显微技术对微光学元件进行高精度三维面形检测的方法。该研究在2010年中国光学学会全息与光信息处理专业委员会年会上发表，展示了数字全息在微纳尺度测量中的应用潜力，为光学元件的非接触式检测提供了新的技术路径。

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